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- [发明专利]真空系统测漏方法及用于真空系统的测漏装置-CN202010557336.3有效
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董旭;赵迎春;熊敏;朱杰
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苏州镓港半导体有限公司
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2020-06-18
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2022-04-15
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G01M3/26
- 本发明揭示了真空系统测漏方法及用于真空系统的测漏装置,其中方法包括S1,将真空系统通过包括两条支路的测漏管路连接检漏仪;S2,至少打开一条支路的阀体,启动测漏,观察检漏仪的压力值是否满足端口压力要求,若满足,对真空系统的不同测点进行检测;若不满足,关闭阀体,将流量调节装置的流量调节至检漏仪反馈的压力值满足检漏仪端口压力所需的流量值,再进行测漏。本方案通过设置两条支路,在阀体所在支路导致真空系统漏率较大导致检漏仪前端压力大于分子泵和质谱仪启动测漏的端口压力时,可以通过关断阀体支路并将另一条支路的流量调节至分子泵和质谱仪的启动测漏的端口压力,从而使检漏仪可以通过氦气或氢气进行漏点检测
- 真空系统方法用于装置
- [实用新型]一种电子内窥镜的气压测漏装置-CN202021913637.7有效
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胡济凡;许秋亮;张建昆
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深圳市宏济医疗技术开发有限公司
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2020-09-04
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2021-01-15
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G01M3/26
- 本实用新型公开一种电子内窥镜的气压测漏装置,涉及电子内窥镜测漏技术领域,可以包括:测漏主体、测漏接头和内窥镜连接头;所述测漏主体包括测漏盖体,所述测漏盖体的上方设置有测漏阀体,所述测漏阀体的顶部设置有测漏阀盖,所述测漏阀体和所述测漏阀盖内设置有测漏阀芯,所述测漏阀体与所述测漏盖体连通;所述测漏盖体的底部设置有第一连接部,用于连接所述内窥镜连接头,所述内窥镜连接头用于连接电子内窥镜;所述测漏接头的底部设置有第二连接部,用于与所述测漏主体连接,所述测漏接头的顶部用于连接供压系统,所述测漏接头上连接有测压装置。本实用新型解决了现有的测漏方式存在的操作复杂、耗时长的缺点。
- 一种电子内窥镜气压装置
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